真空等离子清洗机HSR-150B/100B/60B(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
1.产品特点：
产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
水平电极设计，可满足软性产品处理需求
低耗能、耗气产品
便捷的收放板方式
真空系统集成，占地面积小
合理的等离子反应空间，使处理更均匀
集成的控制系统设计，使操作更方便
型 号
真空等离子清洗机
HSR-150B
HSR-100B
HSR-60B
电源系统
电源
射频电源
功率
0~600W
频率
13.56MHz
真空系统
双级旋片泵（油泵）
罗茨泵+单级旋片泵
60㎥/h
40㎥/h
真空管路
全不锈钢管路，以及**度真空波纹管
材质
铝合金（可定制不锈钢腔体）
厚度
25mm
密封性
**级焊接密封
腔体内部尺寸
（宽×高×深）
500×670×500mm
400×450×500mm
375×375×430mm
电极板有效尺寸
（宽×深）
587×470mm
420×411mm
345×344mm
可用空间间距
34mm
22.5mm
22.5mm
电极板布置方式
水平布置，可活动抽取
工作托盘
标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网）
工作空间
3层
8层
上下 2 层
气体系统
流量范围
0~300SCCM
工艺气体气路
氩气
标配两路，可定制
标配两路，可定制
控制系统
系统控制
PLC
交付方式
7 寸触控屏幕
其它参数
外形尺寸（mm)
（宽×高×深）
1020×1720×1120
900×1750×1000mm
900×1600×900mm
重量
350KG
200KG
150KG
设备外观颜色
银灰色
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