氦检仪的组成部分有哪些?真空系统,仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件,不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括:1)主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa,其抽速应与气载匹配。2)前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵,在以分子示为主泵的系统中,也有采用薄膜泵或干泵的。抽速与主泵匹配。3)预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵,预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵,其抽速视被检件大小而定,因此预抽真空泵大都由用户自配。氦检仪自动化程度高;温州小型氦质谱检漏仪价钱
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题:1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大,必须选用抽泵抽速大的检漏仪,否则就要外加预抽泵。常州国产氦质谱检漏仪多少钱氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养。
在针对氦检仪选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特性:由于真空室中存在潜在的压力梯度,恰当选择安装位置。表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量减少到蕞小。电离真空计具有抽气效应,因此指示的压力低于真空室中的实际压力。冷阴极真空计具有固有的溅射效应,这在中真空范围内与重型气体(如氩)一起抽空时尤为明显。这可导致不一致和不准确的读数。当烃类存在时,电离真空计受到有机分子分解产物的污染。如同溅射效应一样,读数可以干燥扰或不一致。必须选择电离真空计的开关点,以避免因上述现象导致的污染。强磁场和电场会影响真空计的性能。尤其对于电离真空计而言。为能够产生超高真空,必须对真空设备,包括真空计进行烘烤。必须遵守技术要求中规定的蕞大烘烤温度和条件。
氦检仪的捡漏方法有哪些?背压法(压氦法)真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气,迫使氦气进入泄漏工件,再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业:电子元器件,电子封装等。氦质谱检漏背压法优点:检测灵敏度高;可以进行批量化检测;一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423,2328文件而定,器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空,待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测,其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件,这一批的总漏率没超过报废预定值,说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半,剩下的一半继续检漏,这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中,依此检漏直至检出有漏孔的器件。氦检仪不只灵敏度高,而且操作方便;
氦检仪在无源器件中的检漏应用:无源器件检漏原因:光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位,定量漏点,替代传统泡沫检漏和压差检漏,目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法:由于无源器件体积小,且无法抽真空或直接充入氦气,我们采用“背压法”检漏,具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐,压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件,使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐,测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪,开始检漏。氦质谱检漏仪在运行过程中不能移动。金华推车式氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。温州小型氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪性能试验方法:1、反应时间、消除时间及其测定,反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。温州小型氦质谱检漏仪价钱
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